■ 높은 여과 정밀도, 높은 내열성을 실현한 ULSI 제조용 고성능 가스 필터 

- UCDX 시리즈 : Disc 형태 요소 여과 정밀도 0.0015μm 추천 유량 10~100L/min

- UCSX-M 시리즈 : 튜브 형태 요소 여과정밀도 0.0015μm 추천 유량 15~250L/min

- UCD 시리즈 : Disc 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 10~100L/min

- RGF 시리즈 : 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.1~10μm 추천 유량 40~60L/min

- UCS-M 시리즈 : 튜브 형태 요소 여과 정밀도 0.003μm 추천 유량 15~250L/min