까다로운 과제를 위한 정밀한 거리 측정 

- 주사 빈도 : 최대 10kHz

- 스위칭 거리 : 0.6mm, 4mm, 10mm

- 분해능 : 25nm, 180nm 또는 400nm까지 선택 가능

- 선형성 : ±198nm, ±1.4㎛, 4㎛

- RS-232/RS422 및 Ethernet 인터페이스

- OD7000 엔지니어링 툴 GUI, RS-422또는 Ethernet 인터페이스를 이용한 제어기 구성

- 엔코더 입력 옵션